微蚀液操作指引

微蚀缸开缸、化验与添加方法

控制参数 范围 0.8-2μm（1.5μm） ＜40g/L（＜25） 40-100g/L（g/L） 日常维护与添加 每班分析H2SO4、H2O2、Cu及微蚀深度 2+1．此缸体积 300升. 微蚀量 2．开缸比例为25 % [Cu] 3．先加入适量的水,H2SO4 接着加入75升微蚀剂YM-YT602，再 加5L硫酸,然后加H2O2（50%） 水稀释至刻度。 温度（℃） 1.微蚀深度一般控制0.8-2微米,,其随H2O2 浓度,微蚀缸的温度升高而加深. 2. 控制应将H2SO4的含量在40-100g/L，浓度太低时请用工业硫酸进行添加 50% H2SO4添加量(KG)=(目标值-实测值)*V（缸体积）*2 20 g/L至40g/L 1000 3.H2O2 (50% ) 应控制在20g/L至40g/L的范围,以30 g/L最宜.偏低时请用微蚀剂YM-YT602直接补加.不可直接添25-35（30） 20-40（30） 加H2O2. YM-YT602的添加量(L)=(目标值-实测值)*V（缸体积） 时间（秒） 130 2+4. Cu控制在40g/L以下,浓度太高请放掉部分槽液或重新开缸. 5. 每公斤微蚀剂原液中含有硫酸160g/L，双氧水130g/L 6. 每处理1000ft2双面板补加YM-YT602药水约7公斤 7.硫酸和微蚀添加剂为开缸时侯使用,日常很少补加. 化验方法 一、分析控制方法: A .双氧水含量的分析控制 1.抽一毫升工作液到250毫升的三角瓶中 2.加入50毫升去离子水 3.加入5毫升50%的硫酸溶液 4.摇匀后用0.1N的高锰酸钾标准溶液滴定至粉红色高锰酸钾数秒不退色为终点，记录高锰酸钾的消耗量. 5.计算:（ml KMnO4滴定量）×（N KMnO4）×34.02= g/L H2O2 (50%) B .H2SO4含量的分析控制 1.抽一毫升工作液到250毫升的三角瓶中 2.加入50毫升去离子水 3.加入少量甲基橙指示剂 4. 用0.5N的NaOH滴定至黄色终点记录滴定量 5.计算：（ml NaOH滴定量）×（N NaOH）×49= g/L （H2SO4100%） C .铜离子含量分析控制 1.抽一毫升工作液到250毫升的三角瓶中 1 2.加入50毫升去离子水 3.加入少量NH3.H2O使溶液颜色变成蓝色纯清 4.加入少量PAN指示剂 5.用0.05N EDTA.2Na标准溶液滴定至浅黄绿色终点，记录下消耗量 6.计算：（mlEDTA.2Na滴定量）×（N EDTA.2Na）×63.= g/L Cu2 7.调整：如铜离子含量高于30g/L，抽出1/3~1/2旧工作液，然后补加等量新原液 微蚀量控制： 1、准确的切割一片无孔的裸铜板，约3”×3”或4”×4”，量出准确尺寸 2、酸洗铜板以去除氧化膜 ，用水冲洗，在120°F烘炉内烘干及在干燥瓶内冷却 3、称取铜板的重量（×）（准确度小数点、后4位） 4、把铜板按正常生产程序放入生产线 5、在微蚀工序后出 6、把铜板放在120°F的烘炉烘干数分钟，在干燥瓶内冷却，再称重（Y） 7、 计算： （XY）克6810.7微蚀量(微英寸)（表面面积）平方英寸要求：1.微蚀速度控制在40—80比较合适（40微英寸相当于1微米） 2. 1平米英寸=6.4516平方厘米 , 1平方厘米=0.155平方英寸 2