微蚀缸开缸、化验与添加方法
控制参数 范围 0.8-2μm(1.5μm) <40g/L(<25) 40-100g/L(g/L) 日常维护与添加 每班分析H2SO4、H2O2、Cu及微蚀深度 2+1.此缸体积 300升. 微蚀量 2.开缸比例为25 % [Cu] 3.先加入适量的水,H2SO4 接着加入75升微蚀剂YM-YT602,再 加5L硫酸,然后加H2O2(50%) 水稀释至刻度。 温度(℃) 1.微蚀深度一般控制0.8-2微米,,其随H2O2 浓度,微蚀缸的温度升高而加深. 2. 控制应将H2SO4的含量在40-100g/L,浓度太低时请用工业硫酸进行添加 50% H2SO4添加量(KG)=(目标值-实测值)*V(缸体积)*2 20 g/L至40g/L 1000 3.H2O2 (50% ) 应控制在20g/L至40g/L的范围,以30 g/L最宜.偏低时请用微蚀剂YM-YT602直接补加.不可直接添25-35(30) 20-40(30) 加H2O2. YM-YT602的添加量(L)=(目标值-实测值)*V(缸体积) 时间(秒) 130 2+4. Cu控制在40g/L以下,浓度太高请放掉部分槽液或重新开缸. 5. 每公斤微蚀剂原液中含有硫酸160g/L,双氧水130g/L 6. 每处理1000ft2双面板补加YM-YT602药水约7公斤 7.硫酸和微蚀添加剂为开缸时侯使用,日常很少补加. 化验方法 一、分析控制方法: A .双氧水含量的分析控制 1.抽一毫升工作液到250毫升的三角瓶中 2.加入50毫升去离子水 3.加入5毫升50%的硫酸溶液 4.摇匀后用0.1N的高锰酸钾标准溶液滴定至粉红色高锰酸钾数秒不退色为终点,记录高锰酸钾的消耗量. 5.计算:(ml KMnO4滴定量)×(N KMnO4)×34.02= g/L H2O2 (50%) B .H2SO4含量的分析控制 1.抽一毫升工作液到250毫升的三角瓶中 2.加入50毫升去离子水 3.加入少量甲基橙指示剂 4. 用0.5N的NaOH滴定至黄色终点记录滴定量 5.计算:(ml NaOH滴定量)×(N NaOH)×49= g/L (H2SO4100%) C .铜离子含量分析控制 1.抽一毫升工作液到250毫升的三角瓶中 1 2.加入50毫升去离子水 3.加入少量NH3.H2O使溶液颜色变成蓝色纯清 4.加入少量PAN指示剂 5.用0.05N EDTA.2Na标准溶液滴定至浅黄绿色终点,记录下消耗量 6.计算:(mlEDTA.2Na滴定量)×(N EDTA.2Na)×63.= g/L Cu2 7.调整:如铜离子含量高于30g/L,抽出1/3~1/2旧工作液,然后补加等量新原液 微蚀量控制: 1、准确的切割一片无孔的裸铜板,约3”×3”或4”×4”,量出准确尺寸 2、酸洗铜板以去除氧化膜 ,用水冲洗,在120°F烘炉内烘干及在干燥瓶内冷却 3、称取铜板的重量(×)(准确度小数点、后4位) 4、把铜板按正常生产程序放入生产线 5、在微蚀工序后出 6、把铜板放在120°F的烘炉烘干数分钟,在干燥瓶内冷却,再称重(Y) 7、 计算: (XY)克6810.7微蚀量(微英寸)(表面面积)平方英寸要求:1.微蚀速度控制在40—80比较合适(40微英寸相当于1微米) 2. 1平米英寸=6.4516平方厘米 , 1平方厘米=0.155平方英寸 2
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