沉积装置[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：沉积装置专利类型：发明专利

发明人：高晙赫,金义圭,李尚玟,闵秀玹,宋珉澈,洪承柱申请号：CN2019109380.3申请日：20190930公开号：CN110983247A公开日：20200410

摘要：本发明涉及一种沉积装置，包括：腔室；腔室中的掩模组件，该掩模组件被配置为使目标基板安置在掩模组件上并且包括在一个方向上排列的多个掩模；沉积源，该沉积源面对腔室中的掩模组件并且包含沉积材料；连接到沉积源并且被配置为朝向掩模组件注入沉积材料的多个喷嘴；以及面对掩模组件的按压部件，目标基板在按压部件和掩模组件之间，该按压部件被配置为朝向多个掩模提供按压力并且包括：具有板形状并且与多个掩模重叠的按压板；以及在按压板下面的多个电极部件，其中具有彼此不同的幅度的电压被分别施加到多个电极部件。

申请人：三星显示有限公司

地址：韩国京畿道

国籍：KR

代理机构：北京德琦知识产权代理有限公司

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