一种渐进式烘烤加热装置[发明专利]

来源：华拓网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种渐进式烘烤加热装置专利类型：发明专利发明人：耿克涛,刘金

申请号：CN2020101505.1申请日：20200706公开号：CN111524842A公开日：20200811

摘要：本发明公开了一种渐进式烘烤加热装置，涉及晶圆加工技术领域，包括加热机构、驱动机构、提升机构、托板、顶针，托板连接顶针，顶针伸入加热机构中，驱动机构驱动提升机构，提升机构驱动托板作渐进式升降运动；本发明渐进式加热装置在驱动机构、提升机构的驱动下，可以使晶圆在不同高度停止，既能保证在烘烤过程中的温度连续稳定升降，又能避免升降过程中晶圆受到的外界冲击，达到了从根本上避免薄晶圆在烘烤中翘曲、碎片的问题。本发明是一种结构简单，方便实用，有效提高晶圆烘烤质量的渐进式烘烤加热装置。

申请人：宁波润华全芯微电子设备有限公司

地址：3100 浙江省宁波市余姚市阳明街道新桥村村委东首

国籍：CN

代理机构：宁波高新区永创智诚专利代理事务所(普通合伙)

代理人：胡小永

更多信息请下载全文后查看

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文