晶圆测试装置及对应的晶圆测试方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201110335637.2 （22）申请日 2011.10.28

（71）申请人 上海宏力半导造有限公司

地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号

（10）申请公布号 CN102435928A

（43）申请公布日 2012.05.02

（72）发明人 王磊

（74）专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司

代理人 骆苏华

（51）Int.CI

G01R31/26;

权利要求说明书 说明书 幅图

（）发明名称

晶圆测试装置及对应的晶圆测试方法

（57）摘要

一种晶圆测试装置，包括：晶圆测试卡，

所述晶圆测试卡包括测试探针盘和跳线识别装置，所述跳线识别装置用于标示晶圆测试卡型号，所述测试探针盘与晶圆测试机电连接使得测试信号能通过测试探针对待检测晶圆进行检测；晶圆测试机，所述晶圆测试机包括控制单元、人机交互单元和测试单元，所述人机交互单元用于输入测试信息并显示测试结果，所述控制单元用

于识别晶圆测试卡型号并控制测试单元进行测试，所述测试装置通过测试探针盘对所述待检测晶圆进行检测。当对晶圆进行检测时，所述晶圆测试机通过检测跳线识别装置来获得所述晶圆测试卡的型号，不需要手动地输入晶圆测试卡的型号，降低了晶圆测试出错的概率。

法律状态

法律状态公告日2012-05-02 2013-12-25 2014-04-30 2016-08-17

法律状态信息

公开

实质审查的生效

专利申请权、专利权的转移 授权

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公开

实质审查的生效

专利申请权、专利权的转移 授权

权利要求说明书

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说明书

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