专利名称：一种利用表面等离激元散射频谱检测纳米颗粒形貌
的方法和装置
专利类型：发明专利发明人：刘虹遥,路鑫超,陈鲁申请号：CN201510276304.5申请日：20150526公开号：CN106289094A公开日：20170104
摘要：本发明公开一种利用表面等离激元散射频谱检测纳米颗粒形貌的方法和装置。所述方法包括：在金薄膜上附着所述纳米颗粒；在所述金薄膜表面激发表面等离激元，所述表面等离激元沿金薄膜表面传播，与所述纳米颗粒发生散射；所述表面等离激元散射转化为光信号与反射光一起被位于傅里叶平面的第一光电探测器接收，获得空间频域；根据所述空间频域的能量分布，获得所述纳米颗粒的形貌，解决了现有技术中的检测方法对样品要求严格，扫描时间长，无法快速获得检测结果，需要真空操作，成本高、体积大的技术问题。
申请人：中国科学院微电子研究所
地址：100029 北京市朝阳区北土城西路3号
国籍：CN
代理机构：北京华沛德权律师事务所
代理人：刘杰
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