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一种芯片固晶机的控制方法及控制系统[发明专利]

来源:华拓网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种芯片固晶机的控制方法及控制系统专利类型:发明专利

发明人:曾祥进,黄紫青,王海晖,李晓林,蔡敦波,鲁统伟申请号:CN201310725895.0申请日:20131225公开号:CN103681429A公开日:20140326

摘要:本发明提供一种芯片固晶机的控制方法及控制系统,获取运动平台的图像,图像中包含晶圆信息;根据图像确定运动平台上的晶圆与被操作对象的位置关系;根据得到的位置关系控制末端执行器运动,使得运动平台上的晶圆运动至其目标位置;控制末端执行器进行固晶。本发明通过视觉引导的方式对固晶机进行控制,具有定位效果好,不会出现机械平台运动出现抖动及定位位置的整体偏移的问题。

申请人:武汉工程大学

地址:430074 湖北省武汉市洪山区雄楚大街693号

国籍:CN

代理机构:湖北武汉永嘉专利代理有限公司

代理人:王丹

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