专利名称:多晶硅还原炉用硅芯夹持装置专利类型:实用新型专利
发明人:周积卫,程佳彪,郝振良,陈杰申请号:CN200920002790.1申请日:20090313公开号:CN201372204Y公开日:20091230
摘要:本实用新型涉及一种新型多晶硅还原炉用硅芯夹持装置,该装置包括有螺套,卡芯和底座。卡芯呈橄榄形,中部为圆柱体,上下两端各带有一锥台,卡芯中心有一通孔,上下锥台各切割成等分的数个卡瓣;螺套为中空结构,螺套腔体下端设有带螺纹的柱状孔;所述底座为圆柱体,其上部外侧壁带有螺纹,底座与螺套之间采用螺纹连接,底座上下两端各设有凹槽。组装时,卡芯两端分别套设于螺套和底座内,螺套能够旋紧在底座上,将锥状卡瓣压紧,底座安放在位于还原炉底盘处的加热电极之上,锥状卡瓣上下两端收缩把插入其中的硅芯棒夹紧固定,通过限制硅芯的平动和转动,有效防止因硅芯偏转导致硅棒发生倒伏的现象,保证设备的稳定高效运行。
申请人:上海森和投资有限公司
地址:201323 上海市南汇区祝桥工业区金闻路29号
国籍:CN
代理机构:北京汇泽知识产权代理有限公司
代理人:赵军
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